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11月5日,在第三届中国国际进口博览会现场,荷兰光刻机巨头阿斯玛( asml )全球副总裁、中国区总裁沈波在接受澎湃信息( thepaper )采访时表示,该企业对向中国出口集成电路光刻机持开放态度, 目前,中国已成为世界集成电路快速发展最快的地区之一 集成电路产业也是我国国民经济和社会快速发展的战术性、基础性和先导性产业,地位十分重要 asml企业是总部设在荷兰veldhoven市的世界最大的集成电路设备制造商之一 这家企业生产的光刻机是生产集成电路过程中不可缺少的核心作用 目前,该公司生产的最先进的euv (极紫外光)光刻机的加工极限达到了5纳米 美国苹果公司最新版iphone12搭载的芯片是在asml的支持下生产的5纳米芯片 澎湃信息( thepaper ) :目前asml在全球集成电路光刻机行业处于领先地位,您认为这一地位是如何获得的? 沈波:现在大家越来越关注的是结果,是我们现在的位置,但其实对我们来说,得到现在位置的过程更重要。 asml企业成立36年,中间经历了非常多的曲折和坎坷,特别是前十年几乎都死了。 之后,我们在慢慢地从技术上探索了自己的道路之后,经过了非常多的努力,终于一步步走到了今天。 我认为其中有两个特别重要的理由。 第一,整个企业从研发到生产都处于非常开放的状态,合作伙伴非常多,和顾客之间也非常透明,很多事件都是共同开发的。 asml产品的85%的零部件是与供应链共同开发的 开放的生态系统使企业能够找到世界上最好的供应商,包括光学仪器、机械装置等 第二,是我们企业对技术的执着 asml是一家工程师文化非常深厚的企业,很多员工都是工程师,所以在技术上有“咬青山不放松”的动力,从外部看,很多时候看起来是不可能的,我们有这个动力一直偏执地想做, 大家都在关注我们的最新技术,其实这背后有几十年的努力。 一个产品可能是我们20年前出的主意。 并且,20年内投入200亿欧元的研发费制作了这个产品,几年前的领域还有很多人怀疑我们的技术最后能否工业化。 在这种情况下,可以说我们的企业还保持着最初的精神。 澎湃( thepaper ) :企业目前在中国的快速发展状况如何? 沈波: 30年前进入中国市场以来,asml提供了全面的技术和能力来满足中国顾客的诉求。 目前,我们在中国为用户提供了700多台装机。 遵守法律法规,asml全力支持客户和中国集成电路领域的快速发展 为了更好地支持和满足顾客的诉求,asml于2000年在天津正式成立了分公司。 目前,asml在中国设有12个办公室、11个仓储物流中心、2个开发中心、1个培训中心,拥有1000多名员工。 我们的第一台机器是1988年进入中国的,所有阶段我们都经常与中国集成电路行业合作。 目前,中国700多台装机覆盖了asml企业的大部分类型产品 这里我想证明的是,可能有新产品出现旧产品过时的误解 其实现在回头看,我们80、90年代的产品至今市场上仍有很多诉求。 由于目前集成电路的应用太多元化了,7纳米、5纳米、3纳米芯片的数量在整个芯片供应链中几乎占10%多,大部分芯片需要“成熟过程” 例如目前,物联网、汽车电子、轨道交通、超高压输电等“新基础设施”的许多方面大量需要的是“成熟过程”的芯片 我有时认为“高端”、“低端”这种分类是错误的。 不同的产品对芯片光刻机的诉求也不同。 有时需要5纳米,有时需要40纳米、28纳米,有时需要90、110纳米,根据产品类型不同,应用场景也不同 澎湃信息( thepaper ) :中国市场下一步的快速发展计划是什么? 你如何看待未来的中国集成电路市场? 沈波:现在中国的集成电路领域发展很快,国家这几年对集成电路的投入也非常大,作为asml,是紧跟中国集成电路的飞速发展,更好地服务我们的客户。 光刻机是顾客芯片工厂最核心的设备,所以我们首先要保证机器的正常运行,帮助顾客制作产品,我们要加强这方面的服务支持力度。 这几年,我们在中国也设立了自己的培训中心,培养光刻领域的人才。 另外,在深圳和北京有两个技术开发中心,进行计算光刻、测量等的开发 这次我们在博览会上介绍的重点是包括建模分解、测量在内的整体光刻处理方案,包括具有先进控制能力的光刻机台,计算了光刻和测量的共计三个部分,形成了“铁三角”,建模、仿真 提高光刻边缘定位精度,优化图像,asml的整体光刻处理方案可以提高产品的生产率和生产率。 总而言之,企业在整个中国处于更好的状态,未来的服务将越来越多样化,对中国的投资也会越来越大。 澎湃信息( thepaper ) :光刻机有duv (高紫外光)光刻机和euv (极紫外光)光刻机等多种类型,接下来asml有向中国出口euv光刻机的计划吗? 沈波:我在等euv光刻机荷兰政府的出口许可证 asml必须在遵守法律法规的基础上进行光刻机出口 但是,我们对光刻机向中国的出口保持开放的态度。 我们对世界客户视同仁,只要是我们能提供的技术和设备,我们都会全力支持。 实际上,年第二、三季度,企业向中国大陆的光刻机数量超过了全球总数的20% 澎湃信息( thepaper ) :您对最近中国集成电路领域的迅速发展有什么看法? 沈波:集成电路领域的历史其实也有60年了。 现在,整个新闻化时代产生的对数据和计算能力的要求越来越高,整个集成电路产业在社会的快速发展和科技进步方面也成为了非常基础的重要产业。 但是,芯片的制造有上千个工序,不仅仅是光刻。 从我们的角度来看,整体工艺水平在一定程度上后,设备上有一些不同的诉求,但前面的技术储备时间非常长,不是今天能做到的,而是现在的领域大家都太“积极”了,要充分认识到在领域的风险和难度 我们在做这个领域。 最大的人,这真是个不容易的领域,非常难。 有耐心,有毅力,多次,只有真正进去,处理好一个问题,才能真正快速发展,安安心心。 从芯片制造领域迅速发展的立场来说,世界上有一个不断整合的过程,中国最终也融入了这个人系,所以可能有一点必须经历的过程 澎湃信息( thepaper ) :你认为集成电路技术下一步的快速发展方向是什么? 沈波: 5g,随着人工智能、大数据、物联网的飞速发展,催化了超乎想象的各种应用,对芯片性能提出了更高的要求 现在,在集成电路领域谈论了很多关于摩尔定律的事情。 也就是说,大致每两年芯片技术就必须前进一步。 实际上,每两年芯片性能会更强,价格会更低。 例如,10年前买512米的u盘可能需要几百美元,但现在只需要几美元就可以买到。 摩尔定律实际上让芯片便宜了,这是技术的飞速发展带来的。 我认为在所有领域,推进集成电路领域的前进都有几个大方向。 一个是从物理的角度缩小芯片。 在这方面,我们asml起着一个作用。 另外,区域提高芯片集成度,不使芯片功能单一,本来记忆就是记忆,逻辑是逻辑,也许现在可以用同一个芯片集成多种功能。 另外,硅芯片是否制作钴芯片等,是芯片自身的器件和材料的进步 结合这些方向,芯片变得更强大,越来越便宜 澎湃信息( thepaper ) :作为领域的领导者,你不怕来自其他企业的竞争冲击你现在的地位吗? 沈波:别害怕,asml是一家开放的企业,它强调竞争一定会推动技术进步。 所以,我们欢迎竞争,只有竞争才能充分发掘大家的智慧,使领域迅速发展。 我认为我们的企业在某种程度上有这个使命。 只要能帮助整个领域继续前进,有助于各行各业迅速发展,我们都欢迎。 在 个系统内部,大家分工合作效率最高,芯片技术越来越有竞争力,人们可以使用价格更低、性能更好的电子产品 只有开放才能最有效地创新,关门效率非常低 (这篇文章来自澎湃信息,越来越多的原始信息请下载“澎湃信息”app )